固定式缓存仓
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暂存满BIN盒/空BIN盒;
有触摸屏显示与操作;
支持与输送线多层对接;
容量可定制;
设备用途
用于设备机台故障和维护时间暂存
缓存量
每层40个
二次配
电源：3KW AC220 气源：0.6MPa以上，10L/min
尺寸
4300mm×1800mm×高度（与层数相关）
兼容性
硅片兼容182-230MM（适用整片或半片）
